IoN 100是我們?cè)谡婵盏入x子體技術(shù)領(lǐng)域的新進(jìn)展。氣體等離子體依靠其多功能性、綠色環(huán)保，正在迅速成為生命科學(xué)、電子和工業(yè)領(lǐng)域中對(duì)材料表面進(jìn)行改性的關(guān)鍵技術(shù)。例如，醫(yī)療診斷設(shè)備的微型化趨勢(shì)要求精密清潔和選擇性化學(xué)功能化的表面。等離子體去除有機(jī)污染的效果比濕化學(xué)法要高幾個(gè)數(shù)量級(jí)，而且可以在納米級(jí)別內(nèi)使表面化學(xué)功能化。因此，等離子技術(shù)正在取代不再經(jīng)濟(jì)或不再實(shí)用的傳統(tǒng)處理方法。

IoN 100旨在滿足用戶不斷變化的需求，著重于表面處理需求的多功能性和可控性。其先進(jìn)的性能提供了出色的工藝控制、失效保護(hù)報(bào)警系統(tǒng)和數(shù)據(jù)采集軟件。這使系統(tǒng)可滿足生命科學(xué)工業(yè)中嚴(yán)格的質(zhì)量控制程序。IoN 100結(jié)構(gòu)緊湊、集成度高，采用射頻（RF）激發(fā)等離子體。新型 IoN 100 的另外一個(gè)設(shè)計(jì)特征是可以快速方便的更換不同類(lèi)型的腔室和電極結(jié)構(gòu)。

先進(jìn)的功能特性：

● 靈活快速地更換不同結(jié)構(gòu)的電極和腔室

● 用戶可以自行安裝

● 可選配機(jī)載氣體發(fā)生器

● 節(jié)能的操控功能有效降低用戶使用成本

● 可配置的腔室可使用各種不同的電極構(gòu)造，適用于小尺寸的結(jié)構(gòu)復(fù)雜的3維工件或大批量的大工件處理

● 使用Windows系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制

● 符合CFR (美國(guó)聯(lián)邦法規(guī)) 第21章第11部分和Semi E95-1101的圖形用戶界面（GUI）

● 單獨(dú)的用戶軟件訪問(wèn)權(quán)限：操作者、工藝編寫(xiě)、維護(hù)

● 自定義的工藝誤差控制保證了精確的批次可重復(fù)性

● 通過(guò)以太網(wǎng)進(jìn)行遠(yuǎn)程統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制監(jiān)測(cè)

● 機(jī)載診斷功能和報(bào)警記錄

● 工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

● 液晶觸摸屏顯示器（LCD）和鍵盤(pán)

詳細(xì)資料

技術(shù)參數(shù)

● 控制：基于Windows操作系統(tǒng)的觸摸屏操作界面，全自動(dòng)控制。

● 多重工藝步驟，實(shí)時(shí)圖形顯示，多重密碼權(quán)限，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，并可提供對(duì)所有等離子參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)的光譜監(jiān)測(cè)。

● 腔室： 9" x 13" x 20" 鋁質(zhì)，帶有高電導(dǎo)的KF40真空接口和隔離閥，可選節(jié)流閥。

● 可選5層、7層或籠式電極。

● 射頻發(fā)生器：風(fēng)冷，600 瓦 13.56 MHz，帶有自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。

● 顯示屏：彩色觸摸屏，用于控制和監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)、自動(dòng)工藝菜單或手動(dòng)等離子處理。

● 兩路用戶指定氣體，標(biāo)準(zhǔn)配備500 sccm MFC，可選第三路氣體。

● 電源需求： 380 V，三單相，50 Hz 。

● CE 認(rèn)證

安全保障

●電路和軟件互鎖

   · 射頻電源

   · 壓力

   · 腔室門(mén) 開(kāi)/關(guān)

●前后反應(yīng)室中心和柜壁上的緊急停止按鈕

●手動(dòng)和編輯模式下的密碼認(rèn)證。

●聲音報(bào)警

●用于工藝參數(shù)限制的軟件報(bào)警

●超溫報(bào)警傳感器（射頻單元）

●射頻單元與處理室門(mén)之間有繼電器硬件連鎖

●連接到24VAC擴(kuò)展控制回路的外部連鎖