IoN 40是我們在真空等離子體技術領域的新進展。氣體等離子體依靠其多功能性、綠色環(huán)保，正在迅速成為生命科學、電子和工業(yè)領域中對材料表面進行改性的關鍵技術。例如，醫(yī)療診斷設備的微型化趨勢要求精密清潔和選擇性化學功能化的表面。等離子體去除有機污染的效果比濕化學法要高幾個數量級，而且可以在納米級別內使表面化學功能化。因此，等離子技術正在取代不再經濟或不再實用的傳統(tǒng)處理方法。

IoN 40是我們在真空等離子體技術領域的新進展。氣體等離子體依靠其多功能性、綠色環(huán)保，正在迅速成為生命科學、電子和工業(yè)領域中對材料表面進行改性的關鍵技術。例如，醫(yī)療診斷設備的微型化趨勢要求精密清潔和選擇性化學功能化的表面。等離子體去除有機污染的效果比濕化學法要高幾個數量級，而且可以在納米級別內使表面化學功能化。因此，等離子技術正在取代不再經濟或不再實用的傳統(tǒng)處理方法。

IoN 40旨在滿足用戶不斷變化的需求，著重于表面處理需求的多功能性和可控性。其先進的性能提供了出色的工藝控制、失效保護報警系統(tǒng)和數據采集軟件。這使系統(tǒng)可滿足生命科學工業(yè)中嚴格的質量控制程序。IoN 40結構緊湊、集成度高，采用射頻（RF）激發(fā)等離子體。它的臺式設計使其很容易安裝在實驗室或生產環(huán)境中。

先進的功能特性：

●   完全可配置的腔室可使用各種不同的電極構造，適用于中等尺寸的結構復雜的3維工件或大批量的小工件處理

●   使用Windows系統(tǒng)的計算機控制

●   符合CFR(美國聯(lián)邦法規(guī))第21章第11部分和Semi E95-1101的圖形用戶界面（GUI）

●   單獨的用戶軟件訪問權限：操作者、工藝編寫、維護

●   自定義的工藝誤差控制保證了精確的批次可重復性

●   通過以太網進行遠程統(tǒng)計過程控制監(jiān)測

●   機載診斷功能和報警記錄

●   工藝編輯軟件提供了快速靈活的步驟控制功能

●   液晶觸摸屏顯示器（LCD）和鍵盤

詳細資料

技術參數

工作腔室材料                    鋁

容積                            36.5 升

內部尺寸                   229 x 330 x 483 mm

可用電極

● 初級等離子體

● 垂直電極

● 側壁電極

● 可抽卸的3層或5層 289 mm x 234 mm   11.38" x 13.15"托盤

● 3層溫控電極

● 低微粒電極

● 次級等離子體電極

工藝氣體

質量流量控制計                                最多至8路氣體

工藝壓力                   大約120-2000 mTorr(取決于真空泵和氣體流量)

抽真空時間                                大約1分鐘 (取決于真空泵)

放氣                                                            可調

射頻發(fā)生器                            風冷13.56MHz,600 瓦(標準配置)

供給需求電源　　　　　220V或 220V 單相,2.3 KW, 50Hz

工藝氣體                                    輸入壓力 1-2 bar 30 PSI

吹掃氣體                                    輸入壓力 1-2 bar 30 PSI

壓縮空氣                                    輸入壓力 5 bar 75 PSI

尺寸                    寬/高/深 775 x 723 x 781 mm      30.5" x 28.5" x 30.75"

重量                                          1    56.36 千克 / 344 磅

可選項

● 1%精度的壓力測量

● 壓力控制器

● 指示燈柱

● 條形碼閱讀器

● 工藝氣體切換器

● 光譜終點檢測器

● 300 瓦13.56 MHz射頻發(fā)生器

● 不銹鋼MFC

● 打印機

● 循環(huán)液體冷卻器

● 桌子

● 單體處理裝置

● 真空泵（旋片泵、干泵或渦旋泵）

● 氣相MFC

安全認證標準

獨立實驗室測試

● CE認證

● EN 61010

● EN 61326