除氣充氣真空設(shè)備

分子泵高真空系統(tǒng)，帶觀察窗和加熱烘烤裝置，

專門用于試件的真空除氣除水處理，可以實現(xiàn)自動抽空除氣，自動充入工藝氣體。

除氣充氣真空設(shè)備

分子泵高真空系統(tǒng)，專門用于試件的真空除氣預(yù)處理，可以實現(xiàn)自動抽空烘烤除氣，可以自動充入工藝氣體，可以設(shè)定加熱工藝曲線。

1. 極限真空度（空載，清潔，冷態(tài)條件下）：1×10-5Pa；

2. 爐型：雙室（兩室獨立）、臥式、前開門；

3. 工作空間尺寸：（單室）Φ180×450 mm；

4. 充氣壓力精度：充氣壓力×5%；

5. 最高設(shè)計溫度:    550 ℃；

6. 溫控精度：±5℃；

7. 真空系統(tǒng)：無油分子泵系統(tǒng)。

8. 充氣露點可控。

六工位/十二工位超高真空排氣臺

極限真空（空載冷態(tài)）：≤ 1×10-9mbar；

接口漏率＜1×10-9 mbar.l/s；

真空管道配管路加熱器，管道加熱器加熱溫度可調(diào)，最高160℃，控溫精度±0.5℃；

系統(tǒng)共有6 工位，每個工位配工件加熱罩，加熱罩烘烤溫度不低于160℃，同時溫度偏差小于±0.5℃，溫度過沖≤5℃；

主抽泵采用進口的渦輪分子泵；

前級泵采用進口渦旋干泵；

主閥采用進口的電氣動閘板閥；

前級閥采用進口的電磁真空擋板閥；

工位閥采用進口 的手動超高真空角閥；

真空測量采用進口的皮拉尼真空計，冷陰極真空規(guī)；

質(zhì)譜儀采用進口質(zhì)譜儀，并提供質(zhì)譜儀分析軟件1 套，可以顯示分壓力值，測量質(zhì)量數(shù)0-100amu。

嵌入式工業(yè)平板電腦用于客戶端操作、參數(shù)設(shè)置、系統(tǒng)真空度、加熱器加熱溫度；

真空系統(tǒng)的操作具有手動/自動操作功能，手動模式時各閥、泵均在計算機上實現(xiàn)啟/停操作，自動模式時可以實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動啟動。

分子泵在手動或自動模式均具有真空保護功能，低真空規(guī)管未到達設(shè)定值不能啟動。

真空烘烤儲存箱

主要對半導(dǎo)體器件進行高溫除氣，充氣保護及焊接封裝的設(shè)備。也可以做為真空烘烤箱或真空儲存箱。

方形真空室（尺寸可以定制）：

加熱箱：300mm×300mm×300mm；

儲存箱：300mm×300mm×300mm；

加熱箱和儲存箱門上可選擇安裝石英玻璃觀察窗，內(nèi)部可有照明燈；

加熱箱加熱溫度可以調(diào)節(jié)。